技術(shù)參數(shù):
額定功率:7KW
額定電壓:AC 208-240V ,50/60 Hz
zui高溫度:1200℃
持續(xù)工作溫度:≤1100℃
升溫速率:≤30℃/min
爐管尺寸:高純石英管Φ80×2000mm
加熱區(qū)長度:300+300+300mm
恒溫區(qū)長度:500mm
控溫方式:宇電儀表
控溫精度:±1℃
加熱元件:進(jìn)口電阻絲
真空度可達(dá)10-1Pa ;
真空泵抽速:4L/S
氣路系統(tǒng)內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量;設(shè)靜態(tài)混氣室,有助于氣體充分混合,按要求配比。
準(zhǔn)確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
zui大壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
顯示:液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6
射頻信號頻率:13.56MHz±0.005%W
功率輸出范圍:0-500W
細(xì)節(jié)展示: