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輝光等效等離子PECVD系統(tǒng)

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公司名稱安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
品牌DEMAG/德馬格
型號(hào)BTF-1200C-PECVD
所在地合肥市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2018/5/3 13:30:43
訪問(wèn)次數(shù)1047

產(chǎn)品標(biāo)簽:

BTF-1200C-PECVD PECVD 貝意克

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

（貝意克） BEQ公司是應(yīng)材料界老顧客要求成立的專業(yè)致力于材料制備設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)型企業(yè)。公司擁有多名海歸技術(shù)專家，顧問(wèn)?？稍诓牧涎芯康母鱾€(gè)領(lǐng)域?yàn)槟艖n解難，公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)*，注重細(xì)節(jié)，質(zhì)量可靠，售后無(wú)憂。廣泛應(yīng)用于新能源材料，金屬材料，磁性材料，半導(dǎo)體材料，陶瓷材料，電化學(xué)，薄膜材料，CVD,MOCVD，PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯，硅納米管，納米線，藍(lán)寶石（LED），光學(xué)材料，齒科等研究領(lǐng)域。

為更好地服務(wù)于顧客，我公司籌建了多功能實(shí)驗(yàn)室，滿足客戶的各種常規(guī)實(shí)驗(yàn)要求，并有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您提供更*的建議和方案，讓您能*的選擇到Z適合您實(shí)驗(yàn)的設(shè)備。

貝意克（BEQ）以客戶的需求為使命，為材料學(xué)研究者提供Z適合，*的專業(yè)方案。

Best Equipment (貝意克較好的設(shè)備)將是我們一直追求的目標(biāo)。為客戶解決全套方案是貝意克（BEQ）人的追求！

感動(dòng)式服務(wù)贏市場(chǎng)，專業(yè)性理念立品牌。是貝意克（BEQ）的立業(yè)之本！

以人為本，用人求德。是貝意克（BEQ）用人原則！

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實(shí)驗(yàn)電爐,干燥箱,壓力機(jī)等

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貝意克公司研制的輝光等效等離子PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-PECVD能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。其優(yōu)勢(shì)有沉積溫度低，沉積速率快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂等。

輝光等效等離子PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品型號(hào)：	BTF-1200C-PECVD
實(shí)驗(yàn)機(jī)理：	PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。
技術(shù)參數(shù)：	加熱區(qū)參數(shù) 反應(yīng)腔體尺寸：Φ50，Φ60，Φ80，Φ100 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（±1℃）工作溫度：1100℃ zui高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能控溫精度：±1℃ 升溫速率：20℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：3KW
	真空參數(shù) 采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥；真空度可達(dá)10^-3torr；數(shù)顯真空測(cè)試儀可直觀的顯示數(shù)值。
	流量控制參數(shù) 內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量；氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%；一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥；不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入。
	射頻電源與匹配器電源：?jiǎn)蜗?0/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開關(guān)：32A空氣開關(guān) 薄膜生長(zhǎng)室溫度：室溫~ 1200℃ 射頻頻率：13.56MHz 射頻功率輸出范圍：5~500W
細(xì)節(jié)展示：
外型尺寸：	爐體：940×380×520mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm
凈重：	130Kg
認(rèn)證和：	號(hào)：ZL201320052532.0 （產(chǎn)品，防偽必究）