二維材料設(shè)備CVD系統(tǒng)

硫粉預(yù)熱器：

工作溫度：400℃

極限溫度：1200℃

快升溫速率：≤30℃/min

*升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220V

額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

二維材料設(shè)備CVD系統(tǒng)加熱區(qū)參數(shù)：

額定功率：5kw

極限溫度：1200℃

工作溫度：1100℃

大升降溫速率：≤30℃/min

爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm  (管徑可選)

加熱區(qū)長(zhǎng)度：200+200mm  

恒溫區(qū)長(zhǎng)度：290mm

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來石管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

尺寸：約 550×380×600 mm（爐子）

約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌）

可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)：

質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

低真空系統(tǒng)參數(shù)：

國產(chǎn)油泵型號(hào)：BSV-10

抽速：10m³/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220v 50hz

電機(jī)功率：0.4kw  

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù)：

1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)，

2.測(cè)量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

3.測(cè)量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

 使用注意事項(xiàng)

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 。  
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的 氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。
•  石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃。
•  對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。