制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
石墨烯、碳納米管材料CVD設(shè)備
石墨烯、碳納米管材料納米材料CVD設(shè)備 Graphene 、Nano-materials CVD
產(chǎn)品介紹
該設(shè)備主要用于石墨烯、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
主要技術(shù)指標(biāo)
石墨烯、碳納米管材料納米材料CVD設(shè)備 Graphene 、Nano-materials CVD
產(chǎn)品介紹
該設(shè)備主要用于石墨烯、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 結(jié)構(gòu)型式 | 臥式，單管或多管系統(tǒng)自動(dòng)控制 |
| 適應(yīng)晶片尺寸 | 2-8″ |
| 送取片方式 | 自動(dòng)懸臂石英推拉舟，配合手動(dòng)取、放片方式。 |
| 溫度 | 1050℃ |
| 工作溫度 | 400℃~850℃連續(xù)可調(diào) |
| 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | 400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
| 系統(tǒng)極限真空度 | 優(yōu)于1Pa |
| 抽速 | 抽限真空時(shí)間＜15Min |
| 工作壓力范圍 | 5Pa到1×105Pa連續(xù)可調(diào) |
| 供電電源 | 三相五線380V±10%，50Hz |
| 冷卻水 | 2~4Kgf/cm²，8L/min; |
制藥網(wǎng)