深圳市藍星宇電子科技有限公司

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2021-07-14 08:31:17237
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德ZeissSigmaSEM電子束直寫儀,利用曝光抗蝕劑,采用電子束直接曝光,可在各種襯底材料表面直寫各種圖形,圖形結構(最小線寬為10nm),是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要工具。廣泛應用于納米器件,光子晶體,低維半導體等前沿領域。

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