MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器僅需要一根進液管、一根出液管和一根通訊電纜既可以實現(xiàn)監(jiān)測及遠傳遠控。
在線優(yōu)勢:
MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器為生產(chǎn)線上的重要顆粒管控部分。在線、實時、連續(xù)取樣及分析、預(yù)報警提示,能夠即時掌握顆粒污染的診斷和趨勢。
離線優(yōu)勢:
MPS-100A在、離線光刻膠、高純化學(xué)品微粒子計數(shù)器外接離線取樣裝置,可實現(xiàn)實驗室、工廠內(nèi)外的移動測量和固定測量顆粒大小及多少雙模式,解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測的生產(chǎn)過程難題。
應(yīng)用范圍:
超純水、自來水、飲用水、去離子水、礦泉水、蒸餾水、無機化學(xué)品、有機化學(xué)品、有機溶劑、清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片、等產(chǎn)品進行在線顆粒監(jiān)測和分析。
技術(shù)參數(shù):
介質(zhì)要求:液體檢測要求;
監(jiān)測原理:激光光散或光阻原理
傳感器:激光檢測器;
測試軟件:集成韓文、中文、英文、日文應(yīng)用軟件;
檢測標(biāo)準(zhǔn):滿足各類標(biāo)準(zhǔn);
測試標(biāo)定:JJG1061、JIS B9921或乳膠球或ISO21501;
操作方式:彩色液晶觸摸屏操作&遠傳遠控;
檢測范圍:0.1-1.0um、0.5-20.0um;
取樣方式:外置管控和內(nèi)置計量;
進樣精度:<±1%;
精 確 度:<±3%典型值;
重合精度:1000粒/mL(2.5%重合誤差);
通訊輸出:TCP/IP;并帶超標(biāo)報警功能;
報告方法:顆粒數(shù)/mL;
輸入電壓:100V~265V,50Hz~60Hz;