產(chǎn)品概述
原子力顯微鏡PZ-1000 AFM采用掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體的光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇,彈簧懸掛式防震方式的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用,抗力強(qiáng)。
一、主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、主機(jī)與控制箱分開(kāi),外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體,抗力強(qiáng);
3、精密激光定位裝置,使用時(shí)無(wú)需調(diào)節(jié)光斑位置;
4、采用精密探針定位模塊,更換探針簡(jiǎn)單方便;
5、采用樣品趨近探針?lè)绞剑贯樇獯怪庇跇悠窉呙瑁?br>6、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
7、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域;
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
9、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用;
12、彈簧懸掛式防震方式,簡(jiǎn)單實(shí)用,抗力強(qiáng)。
軟件系統(tǒng)
1、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512;
2、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖;
3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
4、可任意選擇樣品起始掃描角度;
5、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能;
6、可任意定義掃描圖像的色板功能;
7、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能;
8、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正;
9、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
規(guī)格參數(shù)
序號(hào) | 名 稱(chēng) | 參 數(shù) |
01 | 工作模式 | 接觸、摩擦力(可選配輕敲、相位、磁力、靜電力) |
02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm;H≤20mm |
03 | 掃描范圍 | 橫向20um,縱向2um |
04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm |
05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A |
07 | 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
08 | 掃描角度 | 任意 |
09 | 樣品移動(dòng)范圍 | 0~20mm |
10 | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
11 | 光學(xué)放大倍數(shù) | 4X |
12 | 光學(xué)分辨率 | 2.5um |
13 | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256,512×512 |
14 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
15 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
16 | 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 |
17 | 運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |