多功能離子束研磨儀 Leica EM RES101
樣品制備
適宜為透射描電和掃描電鏡樣品制備, 在實(shí)驗(yàn)室無(wú)需設(shè)立兩臺(tái)不同的儀器,結(jié)果節(jié)省成本。
局域網(wǎng)兼容
通過(guò)局域網(wǎng),用戶可以通過(guò)外部進(jìn)行操控和監(jiān)視樣品處理過(guò)程,為用戶提供極大的靈活度和便利性。
液氮冷凍系統(tǒng)
可選配的LN2冷卻系統(tǒng),使用Cu質(zhì)地的專(zhuān)門(mén)的樣品臺(tái),確保樣品真正冷卻,使對(duì)熱敏感的樣品進(jìn)行樣品處理時(shí)無(wú)假象產(chǎn)生,適用于TEM和SEM樣品處理,使針對(duì)不同種類(lèi)樣品處理的方法更靈活多變。
全自動(dòng)多功能離子束研磨系統(tǒng),可進(jìn)行離子減?。ㄓ糜赥EM);離子束拋光,離子刻蝕,樣品離子清洗及斜坡切割(用于SEM)等
離子束能量1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜,樣品臺(tái)傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm
可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
可選配樣品臺(tái):TEM樣品臺(tái)(Ø3.0mm或Ø2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),SEM樣品臺(tái),斜坡切割樣品臺(tái)(對(duì)樣品35°或90°斜坡切割)及相應(yīng)冷凍樣品臺(tái)
全無(wú)油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實(shí)時(shí)觀察樣品出來(lái)過(guò)程