深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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2021-07-21 21:57:24413
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美國NeoceraPLD脈沖激光沉積系統(tǒng)P180,一種用途廣泛的、用于薄膜沉積以及納米結(jié)構(gòu)和納米粒子合成的方法.PED脈沖電子束沉積系統(tǒng)PED-180,是高能脈沖(100ns)電子束(約1000A,15keV)在靶材上穿透將近1um,使靶材快速蒸發(fā)形成等離子體。對靶材的非平衡提取(燒灼)使等離子體的組成與靶材的化學(xué)計量組成一致。在條件下,靶材的化學(xué)計量與沉積......

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