2021-07-14 08:54:11312
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德Iplas微波等離子化學氣相沉積技術，通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態(tài)好的高質量硬質薄膜和晶體。
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