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Auto500是一套多功能的真空鍍膜系統(tǒng)平臺,主要用于科學研究、技術(shù)開發(fā)或試生產(chǎn)。其真空腔室采用了前開門的箱式設(shè)計,可以容納大尺寸樣品。通過可選擇的設(shè)備配置能分別實現(xiàn)熱阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)及磁控濺射等各種物理氣相沉積工藝,甚至也可以將前面三種鍍膜工藝同時組合在一臺設(shè)備里。ATS500系統(tǒng)配置觸摸屏控制方式和分子泵高真空系統(tǒng)。ATS500系統(tǒng)為復雜薄膜應用而設(shè)計,配合不同工藝......
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