典型應用
- PVD鍍膜系統
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領域
技術特點
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護氣/破空接口DN 16 KF(卡簧
式)
MAG INTEGRA 系列產品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認證:滿足UL要求
- 防護等級IP 54
- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口
- RS 232,維護接口
- 可以安裝其它接口:Profibus、RS
485 C,9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量較高
- 可靠、耐用
- 免維護
- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯
微鏡、科研領域等對振動敏感的應
用場合
- 由于采用模塊化設計具有靈活性,
變頻器可以安裝在一側或下面
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