典型應(yīng)用
- PVD鍍膜系統(tǒng)
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學(xué)鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領(lǐng)域
技術(shù)特點(diǎn)
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 KF(卡簧
式)
MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認(rèn)證:滿足UL要求
- 防護(hù)等級IP 54
- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口
- RS 232,維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus、RS
485 C,9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量較高
- 可靠、耐用
- 免維護(hù)
- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯
微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)
用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性,
變頻器可以安裝在一側(cè)或下面
更多信息請聯(lián)系萊寶:安博元科技 info
技術(shù)特點(diǎn)
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 KF(卡簧
式)
MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認(rèn)證:滿足UL要求
- 防護(hù)等級IP 54
- 兩個(gè)工業(yè)通信模塊卡接口
- RS 232,維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus、RS
485 C,9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量高
- 可靠、耐用
- 免維護(hù)
- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯
微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)
用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計(jì)具有靈活性,
變頻器可以安裝在一側(cè)或下面
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典型應(yīng)用
- PVD鍍膜系統(tǒng)
- 建筑玻璃鍍膜
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- 平板顯示
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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG INTEGRA W
1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)
進(jìn)氣口法蘭 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||
200 CF | |||||
抽速 | |||||
氮?dú)? | I x s-1 | 1100 | 1600 | ||
氬氣 | I x s-1 | 1050 | 1470 | ||
氦氣 | I x s-1 | 1220 | 1770/1700 | ||
氫氣 | I x s-1 | 1130 | 1570/1500 | ||
轉(zhuǎn)速 | min-1 | 37 800 | 33 000 | ||
可調(diào)待機(jī)轉(zhuǎn)速 | min-1 | 13 800 (230 Hz) | 13 800 (230 Hz) | ||
壓縮比 | |||||
氮?dú)?/span> | > 108 | > 107 | |||
氬氣 | > 108 | > 107 | |||
氫氣,1 sccm時(shí) | 2 0 x 105 | 6 x 104/3 x 103 | |||
氦氣,1 sccm時(shí) | 8 0 x 103 | 1 0 x 103/5 x 102 | |||
氣載量 | |||||
氮?dú)?,短暫,例如抽出? | |||||
mbar x I x s-1 | 30 | 60 | |||
氮?dú)?,連續(xù)使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30/40 | |||
氬氣,短暫,例如抽出中 | |||||
mbar x I x s-1 | 20 | 30 | |||
氬氣,連續(xù)使用 | |||||
mbar x I x s-1 | 15 | 20/25 | |||
極限壓強(qiáng) | |||||
ISO-F法蘭 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | ||
CF法蘭 | mbar | < 10-10 | – | ||
高除氣溫度 | °C | 80 | 80 | ||
前級耐壓 | |||||
氮?dú)? | mbar | 4 | 1 | ||
氬氣 | mbar | 0 6 | 1 | ||
推薦的前級泵 | TRIVAC B 或干泵 | ||||
加速時(shí)間 | min | < 5 | < 7 | ||
前級管道法蘭 | DN | 40 KF | 40 KF | ||
吹掃/破空端口(夾鏈?zhǔn)?/span>) | DN | 16 KF | 16 KF | ||
水冷接口尺寸 | G | 1/8" | 1/8" | ||
重量 | kg | 40 | 45 | ||
執(zhí)行ISO 3744標(biāo)準(zhǔn)的噪聲級 | dB(A) | < 41 | < 41 | ||
速度時(shí)高真空法蘭處的振動值 | μm | 0 01 | 0 01 |
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