3D形貌測試儀

隨著半導體技術的電子技術工藝的發(fā)展，電子產品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經推出，穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩(wěn)定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。

卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發(fā)，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（號：CN207556477U）。該項技術，具有以下優(yōu)點：

3D形貌測試儀主要特點有：

1、非接觸性測量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級精度；

4、滿足透明面及高對比度表面測試；

5、支持二次開發(fā)；

主要應用

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；

3、3D玻璃缺陷檢測；

4、半導體表面缺陷測試；

5、多層薄膜厚度測試；