DS-2000/14G 型無掩模單面激光光刻機(jī)

1．技術(shù)特征

.采用 DMD 作為數(shù)字掩模，像素?cái)?shù) 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三種選配

.采用縮小投影光刻物鏡成像，分辨力 1um。

.采用技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。

.采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片。

.采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)調(diào)平、自動(dòng)逐場(chǎng)調(diào)焦或自動(dòng)選場(chǎng)調(diào)焦曝光。

.具備對(duì)準(zhǔn)功能

2．技術(shù)參數(shù)

.光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外 LED；

.照明不均勻性：2%；

.物鏡倍率：7.6 倍（或 14 倍與選擇的 DMD 像素尺寸有關(guān)）

.曝光場(chǎng)面積：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，與選擇的 DMD 像素?cái)?shù)有關(guān)）?

.光刻分辨力：1 μm

.工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：100mm、 Y：100mm；

.工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：± 0. 5μm；

.調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm；

.對(duì)準(zhǔn)精度：± 2μm；

.調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：6mm

.檢焦：CCD 檢測(cè)，檢測(cè)精度 2 微米

.轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±6°以上

.直寫速度：40mm2 /min

基片尺寸

.外徑: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長(zhǎng)）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統(tǒng)

.350W 直流汞燈（或紫外 LED）、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場(chǎng)鏡組、365nm 濾光片、氣動(dòng)快門、DMD（美

國(guó)德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。

.投影物鏡 7.6 倍，可根據(jù)用戶要求另增加一種.

.分辨力 1?m（縮小倍率 7.6 倍）

（2）工件臺(tái)系統(tǒng)

.X 臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵（美國(guó)）

.Y 臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵 2（美國(guó)）

.轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系

.Z 臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

.承片臺(tái)：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)

.焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件

（4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

.對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、對(duì)準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)

.汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器（19 英寸液晶）、接口（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

.電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件

.真空泵一臺(tái)(無油泵)

.空壓機(jī)一臺(tái)（*泵）

.管道