URE-2000/17 型紫外單面光刻機(jī)（臺(tái)式）
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長(zhǎng)：365nm
。分辨力：1.5μm（膠厚 2 ?m 的正膠）
。對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 Ф 15mm-- Ф 100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)
。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
。照明不均勻性： 5%（Ф 100mm 范圍）
。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍
。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：200W（直流）
。曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長(zhǎng)）x600mm(寬) x900mm（高）36
3．配置
（1）曝光頭
。200W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
。光學(xué)系統(tǒng)
。冷卻風(fēng)扇
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動(dòng)
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
。承片臺(tái) 3 個(gè)（Ф 50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）
。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。CCD（中國(guó)臺(tái)灣）
。21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
?？刂茩C(jī)箱
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
。真空泵一臺(tái)
。管道
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