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SSDR 150 微波等離子化學(xué)氣相沉積機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/7/20 20:59:44
  • 訪問次數(shù)503
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊商標(biāo)。 同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機(jī),電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī),紫外光刻機(jī),微納3D打印機(jī),德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),微波離子沉積機(jī)MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機(jī),電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實(shí)驗(yàn)耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
電子顯微鏡
法國Plassys微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) SSDR 150,專門用于合成 CVD 金剛石薄膜,能夠制備高純單晶(需高純氣源)、厚單晶、大單晶、多晶薄膜、光學(xué)級窗口。SSDR150 不斷優(yōu)化的微波及等離子體設(shè)計(jì),是一款可靠的、穩(wěn)定的、長時(shí)間運(yùn)行的金剛石薄膜生長系統(tǒng),能夠地適用于高??蒲泻推髽I(yè)生產(chǎn)。
SSDR 150 微波等離子化學(xué)氣相沉積機(jī) 產(chǎn)品信息

法國Plassys微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) SSDR 150

SSDR150 微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)專門用于合成 CVD 金剛石薄膜,能夠制備高純單晶(需高純氣源)、厚單晶、大單晶、多晶薄膜、光學(xué)級窗口。SSDR150 不斷優(yōu)化的微波及等離子體設(shè)計(jì),是一款可靠的、穩(wěn)定的、長時(shí)間運(yùn)行的金剛石薄膜生長系統(tǒng),能夠地適用于高??蒲泻推髽I(yè)生產(chǎn)。


SSDR150 系統(tǒng)特點(diǎn)

。 鋁合金腔體+內(nèi)置石英管反應(yīng)室,支持長時(shí)間高功率下工作

。工藝氣壓可達(dá) 350 mbar 或更高,可以高速率生長單晶

。微波源為 2.45GHz、功率 6 kW,高耦合效率

。標(biāo)準(zhǔn)配置 4 條氣路,最多可增加至 7 條氣路(摻雜氣路)

。2 英寸水冷樣品臺(tái),高度電動(dòng)可調(diào)、精度優(yōu)于 10μm (可選)

。雙色紅外高溫計(jì)測試樣品表面溫度,范圍 475-1475 °C

。愛德華茲分子泵+ 干泵,真空度≤ 3×10-7 mbar

。高水平金剛石生長工藝培訓(xùn)及演示(內(nèi)容根據(jù)應(yīng)用而定)

。全自動(dòng)控制、半自動(dòng)和手動(dòng)可用,圖形化操作界面(GUI)

。多級用戶設(shè)置和管理、遠(yuǎn)程診斷和維護(hù)、數(shù)據(jù)導(dǎo)出接口

。多用途:高純度單晶、厚單晶、大單晶、摻雜、光學(xué)窗口

。設(shè)備維護(hù)少、安全、可靠、穩(wěn)定、性價(jià)比高

應(yīng)用領(lǐng)域

。切削刀具、耐磨涂層、熱沉材料、SAW

。光學(xué)窗口、激光晶體、電化學(xué)電極、CNT

。生物傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、光電探測器

。商用寶石、低壓高溫退火處理、量子計(jì)算


SSDR150 性能表現(xiàn)


多晶金剛石:


• 液氮溫度下 PL 檢測 無明顯氮
• 生長速率: 高達(dá) 10 μm/h, 取決于生長工藝

單晶金剛石:
• 液氮溫度下 PL 檢測 無明顯氮
• EPR 測試氮濃度 : [Ns0] < 1 ppb
• 1332 cm-1 FWHM 金剛石拉曼譜線: 1.6 cm-1
• 4000 – 10000 cm-1無紅外波段吸收

• 生長速率: 高達(dá) 20 μm/h, 取決于生長工藝條件

關(guān)鍵詞:傳感器
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