英國(guó)Hiden公司的RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers),用于真空診斷和工藝工程的精確分析。
RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀包括HAL RGA ,3F Series RGA和3F-PIC三種規(guī)格水平。
·PPM靈敏度
·通過(guò)RS232、USB或Ethernet連接計(jì)算機(jī),MASsoft專業(yè)軟件控制
·快速顯示柱狀圖、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰
·混合模式掃描-多個(gè)windows窗口顯示信息,例如趨勢(shì)、柱狀圖和信號(hào)峰
·同步顯示數(shù)據(jù)圖,列表
·同步背景扣除,自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
·數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式,至windows設(shè)備
·即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如 Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制軟件等
·質(zhì)量數(shù)范圍: 200,300 amu
·掃描速度: 100amu/s
·最小掃描步階:0.01amu
·靈敏度: 0.1 ppm~1ppm
·穩(wěn)定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%