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詳細介紹
美Sonix超聲波掃描顯微鏡
型號：ECHO LS
Sonix 非破壞超聲波掃描是一款提高生產(chǎn)、簡化測試、改進生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實驗室設(shè)備。無論是失效分析實驗室的詳細分析還是生產(chǎn)線檢測，Sonix 都能提供一個易于操作的軟件解決方案。
﹡WinIC Lab （詳細失效分析工具）
﹡WinIC Production （易于操作的、新型的生產(chǎn)工具，專門用于生產(chǎn)的大量分析）
Sonix ECHO LS 可檢測最小 0.05 微米的缺陷，它是一款的檢測 bump, 堆疊芯片(三維封裝)，復(fù)雜 flipchip 和傳統(tǒng)塑封封裝的工具.
使用 ECHO LS 生產(chǎn)軟件改進生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率：
。很容易設(shè)定和使用
。監(jiān)測生產(chǎn)質(zhì)量
。通過/失效存儲
。簽定零件
Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 MHz，為能適用于所有類型的應(yīng)用和材料設(shè)計
其它主要特性
。節(jié)省潔凈室空間
。整體焊接結(jié)構(gòu)（改進平臺的穩(wěn)定性）
。輕便（移動方便）
?？蛇x反射與透射同時進行(快速偵測缺陷)
。減低高度，節(jié)省成本
。大面積的掃描區(qū)域（可放多個 tray盤或大樣品）
。傾斜缸底（為能*排水）
。Z 軸探頭移動（替代 tray 架子移動）
?？沙槌鍪郊茏樱蓴[放夾具和樣品）
。設(shè)計緊湊（可節(jié)省維護成本）
。符合 CE, SEMI S2, NRTL
。在安全蓋、槽及門上有靜電涂層
規(guī)格：
X 軸
定位裝置：線性伺服馬達，線性伺服馬達
精度高,無磨損,無需定期做保養(yǎng)校正
掃描速度：1000mm/秒
馬達精度：+/- 0.5 微米
線性光柵尺精度：0.5 微米
掃描面積：350mm
Y 軸
定位裝置：步進馬達
精度： 0.25 微米
行程： 350mm
Z 軸
定位裝置：步進馬達
精度 ：0.25 微米
行程： 50mm
夾具
托盤夾具，掃描平臺以拖住整個 tray 掃描
機身尺寸和重量
·31 inches X 31 inches X 48 inches
·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
·360lbs. or 163.5kg
過濾系統(tǒng)
·循環(huán)泵和 5 微米過濾器，有自動水循環(huán)系統(tǒng)，可把水中的雜質(zhì)過濾，大大減少雜質(zhì)對掃描結(jié)果的影響
超聲波工具
·DPR500 接接器，帶 L2/H4 放大器
·可選 U4 放大器
顯示器 . 雙顯示器
樣品槽：590mm×550mm×120mm
超聲波掃描頻率：1MHz~500MHz
傳感器頻率選擇：5MHz~300MHz
對于塑封器件，用到75MHz，再高頻率無法穿透塑封料
脈沖發(fā)生器前級放大器：Pluse2
WinIC 軟件
-TAMI：一次掃描可同時獲得最多 100 張 C 超掃描圖像，在需要時，可自動調(diào)節(jié)焦距，可看到 IC 所有的分界面，無需重掃，所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
-ICEBERG
-WinIC Pro (增國功能和分析)
-WinIC Offline (允許在手提電腦上分做分析)
-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易設(shè)置)
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