KSI V300E 單探頭超聲波掃描顯微鏡

KSI V300E 單探頭超聲波掃描顯微鏡

1.掃描機(jī)械機(jī)構(gòu)

Ø X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)全是磁懸浮高速線性電機(jī)

Ø *X、Y軸有效掃描區(qū)域：300mm×300mm

Ø *X、Y軸掃描速率：2m/s

Ø X、Y軸掃描加速度：30m/s2

Ø X、Y軸的重復(fù)精度：±0.1um

Ø 掃描驅(qū)動(dòng)裝置Z軸：自鎖步進(jìn)馬達(dá)

Ø Z軸的重復(fù)精度：±0.25um

Ø 具有自動(dòng)對(duì)焦功能

Ø Z軸升降行程：100mm

2.脈沖信號(hào)收發(fā)器和換能器

Ø 掃描工作模式：?jiǎn)瓮ǖ拦ぷ髂Ｊ?/span>

Ø 脈沖信號(hào)收發(fā)器帶寬：5MHz～500MHz

Ø 射頻總增益：72dB，以1dB/步增減調(diào)節(jié)

Ø *換能器要求及數(shù)量：
15MHz/f=0.75” 1個(gè) ，檢測(cè)TO封裝等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1個(gè) ，檢測(cè)常規(guī)的塑封器件
40MHz/f=20mm 1個(gè) ，檢測(cè)IGBT等大功率模組
110MHz/f=8mm 1個(gè) ，檢測(cè)Flipchip/BGA等薄型器件
175MHz/f=8mm 1個(gè) ，檢測(cè)型結(jié)構(gòu)的器件或新設(shè)計(jì)
透射模組（含20MHz接收探頭） 1套，用來(lái)做IC的快速批量檢測(cè)或PCB板的檢測(cè)

Ø 模數(shù)轉(zhuǎn)換卡ADC 1GHz

Ø 聲學(xué)圖像放大倍數(shù)大于200×

3.樣品槽/工裝/過(guò)濾系統(tǒng)

Ø 樣品槽尺寸： 546mm×860mm×120mm（W×D×H）

Ø 機(jī)器內(nèi)含自凈過(guò)濾系統(tǒng)

4.軟件

4.1控制軟件KSI VISION

Ø 軟件界面語(yǔ)言：英文

Ø 掃描模式：

1) 點(diǎn)掃描(A-Scan)

2) 縱剖掃描(B-Scan)

3) 橫剖掃描(C-Scan)

4) 斜剖掃描(D-Scan)

5) 多層橫剖掃描(X-Scan)

6) 多配置多層橫剖掃描(G-Scan)

7) 序列掃描(Sequence-Scan)

8) 自動(dòng)掃描(Auto-Scan)

9) 3D掃描(3D-Scan)

10) Z掃描(Z-Scan)

11) 高質(zhì)量掃描(HQ-Scan)

Ø 保存圖像格式：BMP、JPG、及保存所有尺寸及聲波信號(hào)的原始聲學(xué)圖像格式(SAM、SAZ)；

Ø 圖像采樣像素：32000×32000像素

Ø 采樣分辨率：1um （1000像素/毫米）

Ø 最小門*：2ns

Ø 軟件主要功能：

1) 掃描過(guò)程中調(diào)節(jié)增益、門*、門限位置、門限延遲；

2) 厚度和距離測(cè)量

3) 分層缺陷著色

4) 掃描圖像復(fù)位功能，輕松重構(gòu)超掃圖像； l

5) 3D圖像

6) 設(shè)置參數(shù)均會(huì)自動(dòng)存儲(chǔ)，包括：A波形圖、功率設(shè)置、增益、數(shù)字門限延遲、門限寬度；

7) 閾值、正負(fù)波峰相位檢測(cè)包括：幅值、均值、雙極；

8) 被測(cè)樣品掃描尺寸和定位選擇、相位檢測(cè)、表面跟蹤、采樣圖像分辨率選擇；

*4.2 三維圖像掃描/旋轉(zhuǎn)/剪切軟件包KSI 4D VOLUME

Ø 能對(duì)聲學(xué)圖像進(jìn)行三維掃描、旋轉(zhuǎn)、剖切等處理，直觀地再現(xiàn)被測(cè)樣品的空間感。

*4.3 二維圖像分析軟件包 KSI VSION VIEW

Ø 易用的圖像分析軟件包KSI VSION VIEW，包括缺陷面積百分比統(tǒng)計(jì)、著色處理等常用的聲學(xué)圖像分析功能；

5.工控機(jī)配置：

Ø Intel酷睿雙核處理器，核心頻率大于2.6GHz

Ø 正版Windows10操作系統(tǒng)英文版

Ø 24寸 平板顯示器 2個(gè)

Ø 128GB固態(tài)硬盤 + 1000 GB 機(jī)械硬盤

Ø 8 GB RAM 內(nèi)存

可選配置包括如下：

① 能壓制水花的防誤判低噪探頭，從5MHz, 10MHz, 30MHz, 40MHz, 50MHz ………….230MH, 300MHz,330Hz,400MHz可選 （共200個(gè)多，機(jī)器標(biāo)配已含15MHz探頭1個(gè)

② 二維圖像缺陷分析軟件包Ksi vision View

③ 三維圖像缺陷分析軟件包Ksi Volume4D

④ 主控軟件離線版 Ksi Vision （該軟件也可以在普通辦公電腦上運(yùn)行）

⑤ 透射探頭套裝

⑥ 雙顯示器配置

⑦ 定制特殊樣品臺(tái)