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詳細(xì)介紹
MDPinlinescan在線壽命和電阻率逐行掃描儀
各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長(zhǎng)的晶片到加工過(guò)的晶片，都可以通過(guò)MDPlinescan使用少子壽命測(cè)量進(jìn)行檢測(cè)。硬件系統(tǒng)被靈活地安裝來(lái)執(zhí)行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統(tǒng)或自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接和通信。
MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)上。關(guān)鍵測(cè)量是少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量探頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查，測(cè)量速度小于每晶片一秒。電池生產(chǎn)線的進(jìn)料質(zhì)量調(diào)查是常見(jiàn)的應(yīng)用案例，以及在鈍化和擴(kuò)散之后的工藝質(zhì)量檢查，在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng)。
優(yōu)勢(shì)
。在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少子壽命和電阻率線掃描是該儀器設(shè)計(jì)的重點(diǎn)。
。集成OEM單元的生產(chǎn)，用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件、磚塊或錠子的生產(chǎn)線的整合。
。小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)化接口易于集成。重點(diǎn)在于測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期可靠性和精密度。
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