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BS-80020CPPS等離子體源

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更新時(shí)間:2021-07-16 21:08:33瀏覽次數(shù):204

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產(chǎn)品簡介

日本JEOL BS-80020CPPS等離子體源,是用于輔助低溫(100℃以下等)下塑料基板和膠片成膜的等離子體源。

詳細(xì)介紹

BS-80020CPPS等離子體源

BS-80020CPPS是用于輔助低溫(100℃以下等)下塑料基板和膠片成膜的等離子體源。

產(chǎn)品規(guī)格:

放電輸出

3.2kW (160V, 20A)

輔助輸出功率

2kW (200V, 10A)

工作壓力

8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)

放電氣體(Ar)

8 ~ 20mL/分

適用控制電源

BS-92040CPPC

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