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THERMOVAC 變送器真空計(jì) TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

說明nbsp;nbsp;TTR 911 N nbsp;THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì)nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 89660V02) 或nbsp;EtherCAT 數(shù)字通信接口nb......

詳細(xì)介紹

說明

TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請(qǐng)參閱第 6.4 章。

TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器具備單獨(dú)的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件，元件測(cè)量基于熱傳導(dǎo)性。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

應(yīng)用

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測(cè)量

· 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量

· 氣體回填測(cè)量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)定點(diǎn)采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。

Parylene-HT®是保形涂層，氣體阻隔性，不釋氣。與標(biāo)準(zhǔn) MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂層傳感器對(duì)各種腐蝕性氣體的耐受性更強(qiáng)。涂層覆蓋整個(gè)傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。如需更多詳情，請(qǐng)聯(lián)系應(yīng)用支持部門。

廢棄處理

TTR 911 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。

技術(shù)數(shù)據(jù)

測(cè)量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

測(cè)量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1000 毫巴


精確度(1) (N2):		5×10-4 至 1x10-3 毫巴:		誤差是讀數(shù)的	±10%
		1×10-3 至 100 毫巴:		誤差是讀數(shù)的	±5%
		100 至 1000 毫巴:		誤差是讀數(shù)的	±25%

重復(fù)性(1) (N2):		1×10-3 至 100 毫巴:		誤差是讀數(shù)的	±2%

電源電壓:				9-30 伏直流
功耗:				< 1.2 瓦
熔絲 (熱可恢復(fù)):				200 毫安
模擬輸出 (100 歐阻抗):				0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進(jìn)制
模擬輸出分辨率:				16 位
模擬輸出更新率:				16 赫茲
傳感器故障，模擬輸出:				0.5 伏

材料暴露于真空(2):
P/N: 89654V02、89660V02、230700V02:				304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM
P/N: 89656V02、230701V02:				304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT®

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:
P/N: 89660V02:				3
P/N: 89654V02、89656V02:				2

設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍:				2×10-4 至 1000 毫巴
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值:				1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間:				< 100 毫秒
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻:				100 毫歐 (值)
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性:				100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性:				2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:
P/N: 230700V02、230701V02:				2

數(shù)字接口循環(huán)時(shí)間				1 毫秒

內(nèi)部容積:	KF16:		2.80 厘米3

外殼材質(zhì):				304 號(hào)不銹鋼

重量:
P/N: 89654V02、89656V02:				292 克
P/N: 89660V2:				168 克
P/N: 230700V02、230701V02:				338 克

允許壓力:				6 巴
運(yùn)行溫度:				0 至 40 °C (32 至 104 °F)
烘烤溫度 (電源關(guān)閉):				85 °C (185 °F)
燈絲溫度:				超過室溫 35 °C
異物防護(hù)等級(jí):				IP40
泄漏速率:				< 5?0-9 毫巴?升/秒
(1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y(cè)得的典型數(shù)值。
(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請(qǐng)聯(lián)系LEYBOLD。

Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商標(biāo)。

配件和備件編號(hào)

零件	產(chǎn)品號(hào)
TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP	89654V02
TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP	89656V02
TTR 911 N，DN16 KF，RS232	89660V02
TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat	230700V02
TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat	230701V02
備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF	230650V02
備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF	230651V02

Display 1	230001
Display 2	230024
Display 3	230025

Graphix 1	230680V01
Graphix 2	230681V01
Graphix 3	230682V01

A 型電纜，5 米	12426
A 型電纜，10 米	230012
A 型電纜，15 米	12427
A 型電纜，20 米	12428
A 型電纜，30 米	12429
A 型電纜，50 米	12431
A 型電纜，75 米	12432
A 型電纜，100 米	12433

螺旋管 DN 16 ISO-KF	230082

定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF	88346
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過濾器，DN16 KF	88351
卡環(huán) (鋁)，DN16 KF	18341
定心環(huán)，含細(xì)濾器 DN16 KF	88396