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配氣部分：完成1～11路氣體的計量控制、混合任務，其中每路包括穩(wěn)壓控制、壓力顯示、質(zhì)量流量顯示和控制；多路氣體分別計量后進入同一個混合罐充分混合，Φ6不...
裝置總控部分包括計算機軟件和電路自動控制單元兩部分。計算機實時顯示流化床變化數(shù)據(jù)(溫度、氣體流量等)以及所有操作參數(shù)，可實現(xiàn)對控制溫度、流率以及氣路的轉(zhuǎn)換的進一...
氫氣和氬氣經(jīng)氣體預熱爐預熱后，氬氣進入NbCl5氣化罐內(nèi)，在閥門V6的后端與氫氣混合，混合后進入沉積室下端，經(jīng)過氣體分布板，進入沉積室內(nèi)部沉積室直徑約為100m...
催化反應評價裝置，催化流化，設計，
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