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使用NexION 1100G ICPMS分析高純石英樣品中的雜質元素
NexION 1100G ICPMS
本文介紹了使用NexION 1100G ICPMS測試高純石英材料中的多種元素雜質。
√ 高純石英具有穩(wěn)定的化學特性、優(yōu)異的電絕緣性和透光性，是半導體行業(yè)不可或缺的原材料之一。為了得到高純石英，需要去除石英原料的的多種雜質。元素雜質是影響高純石英質量的重要指標，需要精確測量，其中堿金屬、堿土金屬及過渡金屬最為關注。
√ 在百級潔凈臺將石英樣品使用高純氫氟酸溶解，溶解后的樣品在解熱版上趕酸至近干，之后使用2%氫氟酸復溶，溶液上機測試即可。
圖 1 測試元素標準曲線
測試結果如下表，為了驗證測試結果的準確度，對平行-1的溶液樣品進行了加標回收實驗，元素的加標濃度均為100ppt，結果如下：
珀金埃爾默NexION 1100G系列電感耦合等離子體質譜儀采用四極桿作為反應池，使用活性反應氣消除如40Ar+對40Ca+、40Ar16O+對56Fe+的質譜干擾，同時利用四極桿反應池的質量篩選功能控制氨氣產生的副產物，徹底消除測試過程中遇到的質譜干擾，保證測試結果的準確度。