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HPC1100高壓控制器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

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更新時間：2023-09-15 10:35:11瀏覽次數(shù)：216次

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產(chǎn)品名稱：高壓控制器產(chǎn)品型號：HPC1100品牌：LIGHTHOUSE美國萊特浩斯采樣流量：28．3L/min粒徑范圍：0.1μm 或更大流速：1.0 CFM輸出壓力：接近大氣壓輸入壓力：30-150 psi尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm


HPC1100高壓控制器


產(chǎn)品概述

  1. 產(chǎn)品名稱：高壓控制器
  2. 產(chǎn)品型號：HPC1100
  3. 品牌：LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
  4. 采樣流量：28．3L/min
  5. 粒徑范圍：0.1μm 或更大
  6. 流速：1.0 CFM
  7. 輸出壓力：接近大氣壓
  8. 輸入壓力：30-150 psi
  9. 尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm

 

設(shè)計采用了新技術(shù)， 在高壓氣體成分，HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計數(shù)器對高壓（30-150 psi）的惰性氣體系統(tǒng)提供工藝氣體污染的監(jiān)測能力。

HPC 1100的不銹鋼設(shè)計堅固耐用，可靠，幾乎不需要日常維護(hù)和校準(zhǔn)。在正常操作過程中，惰性氣體可被回收采樣過程中使用100％的供氣。

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品特色

特征

優(yōu)點

應(yīng)用
  • 可用于任何惰性氣體
  • 輕松設(shè)置
  • 安裝簡單
  • 前置流計
  • 直觀的用戶控制
  • 安靜的操作
  • 快速清除和清理
  • VCR接頭內(nèi)部和外部
  • 不銹鋼結(jié)構(gòu)
  • 在正常操作過程中的零氣體廢物
  • 近常壓輸出
  • 低噪聲
  • 小尺寸
  • 便于系統(tǒng)集成
  • 2年保修的
  • 較低的擁有成本

 
  • 工藝鑒定
  • 半導(dǎo)體制程監(jiān)控
  • 平板過程監(jiān)控
  • 過程趨勢分析

 

 

主要技術(shù)參數(shù)及性能：

粒徑范圍

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

輸出壓力

接近大氣壓

輸入壓力

30-150 psi

兼容氣體

氮，氬氣，氦氣

運(yùn)行噪音

<60 db

外殼

不銹鋼

材質(zhì)

316L 不銹鋼

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

隨機(jī)配件

采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽；套圈

可選件

備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)

 

 

 

 

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