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2450MHz 程控微波功率源系列返回列表頁

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更新時間：2023-11-08 07:43:41瀏覽次數(shù)：118次

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性能特點(diǎn)

◆1kW、2kW、3 kW、5 kW、10kW、15kW等型號的產(chǎn)品，采用大功率水冷磁控管，性能*，工作可靠。
◆采用單片機(jī)與調(diào)整管和輔助線圈組成的自控設(shè)計方案，同時運(yùn)用燈絲降壓線路，實(shí)現(xiàn)微波輸出功率低波紋，連續(xù)可調(diào)，它具有穩(wěn)定性高，壽命長，保護(hù)措施完善，操作簡單等特點(diǎn)
◆提供手動和編程兩種控制方式，數(shù)碼顯示。
◆廣泛地用于CVD金剛石和類金剛石膜、微波等離子體刻蝕、陶瓷燒結(jié)、ECR離子源以及其它系統(tǒng)中所需的微波源。
◆可根據(jù)要求自行選配環(huán)行器、電動銷釘、水負(fù)載、定向耦合器等匹配組件。。
◆多參數(shù)實(shí)時監(jiān)測、采集與記錄，多重聯(lián)鎖保護(hù)與報警。

技術(shù)指標(biāo)

型號	HMG-2010	HMG-2020	HMG-2030	HMG-2050	HMG-2100	HMG-2150
工作頻率	2450MHz±50MHz
輸出功率	0.1～1kw	0.2～2kw	0.3～3kw	0.5～5kw	0.5～10kw	0.5～15kw
功率穩(wěn)定度	±1%（滿功率時）
功耗	2kW	3kW	4.5kW	8kW	15kW	22kW
電源	308VAC±5%/50MHz三相四線
冷卻水	3L/min	3L/min	4L/min	4L/min	10L/min	12 L/min
輸出波導(dǎo)	BJ-26帶FD-26法蘭				BJ-22帶FD-22法蘭
磁控管功率頭	外置				內(nèi)置
微波泄漏	符合國家標(biāo)準(zhǔn)