真空紫外光譜儀-235

描述

Model 235是McPherson的一款500mm焦距f/11.4的Seya-Namioka結(jié)構(gòu)單色儀。光學(xué)系統(tǒng)置于不銹鋼結(jié)構(gòu)的腔中，腔內(nèi)可以達到10^-7 Torr的真空度。儀器使用1200g/mm的光柵時，分辨率為0.05nm。入射和出射光束間的夾 角為70°15′。長焦距保證了分辨率的提升和操作空間的增加。不銹鋼結(jié)構(gòu)優(yōu)勢在與可以保證很高的真空度，并且在與樣品室或微通道板增強器的連接中，更容易隔絕污染物。

Seya-Namioka結(jié)構(gòu)中所有元件（狹縫和光柵）都置于羅蘭圓上。在比較寬的波段保證了較好的分辨 率，針對不同的應(yīng)用來考慮象散的情況。儀器出射端成像的高度在理論上等于入射像的高度加上光柵刻線高度的2/3。25mm左右的出射像高并不罕見。當使用光電倍增管（一個較大的光陰極）掃描排放源或樣品時，或?qū)x器作為一個過濾器使用（來篩選等離子線）時，不存在任何問題，對于其他的應(yīng)用，如果需要在一定程度上矯正光柵所引起的像差時，在一定的波長范圍內(nèi)是可以做到的，以改善性能。

選擇合適的光柵，該光譜儀波長范圍可以通過掃描方式從30nm覆蓋到1.2um.

Model 235 Seya-Namioka 結(jié)構(gòu)單色儀

更大的操作空間

內(nèi)部焊接的不銹鋼結(jié)構(gòu)

微米精度的可調(diào)狹縫

高分辨率

光柵繞其頂點旋轉(zhuǎn)

像差校正光柵可選

技術(shù)參數(shù)

焦距                           500-mm focal length Seya-Namioka design

出口狹縫與入口狹縫的角度70°   15'

f 數(shù)                           11.6

光柵                           30 x 50-mm ruled area

波長精度                       +/-0.1-nm  

波長重復(fù)性                     +/- 0.005 nm