特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)

特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(yīng)(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內(nèi)，再通過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥箱 (VMB, Valve Manifold Box) ，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺的使用點(diǎn) (POU, Point of Use) ，于進(jìn)入機(jī)臺腔體之前，會有獨(dú)立的氣體控制盤 (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流控制 器 (MFC, Mass Flow Controller) 進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架 (Gas Rack) 與閥盤 (VMP, Valve Manifold Panel) 進(jìn)行供應(yīng)。