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詳細(xì)介紹
高分辨率，精確成像
憑借對(duì)各種類型樣品進(jìn)行精確3D測(cè)量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
的橫向分辨率
| | 405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。 | |
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| 紅光型（658納米：0.26微米空間) | 微米紫光型（405納米：0.12線和空間) | |
一致的測(cè)量值
LEXT專用物鏡可精確測(cè)量采用其他方式測(cè)量會(huì)發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。
傳統(tǒng)物鏡
LEXT物鏡
新開發(fā)的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差，可進(jìn)行精確的X-Y掃描。
4K掃描技術(shù)
4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號(hào)的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無(wú)需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面以及極低的臺(tái)階。
捕獲真實(shí)形貌
由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑消除噪聲等標(biāo)準(zhǔn)圖像處理技術(shù)，其有時(shí)會(huì)將精確測(cè)得的細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)連同噪聲一起消除。
OLS5100顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測(cè)可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則測(cè)量數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。
其他高分辨率測(cè)量技術(shù)
- MEMS掃描PEAK算法
- 雙共焦系統(tǒng)
- Sq噪聲（測(cè)量噪聲）保證
- 準(zhǔn)確性和重復(fù)性均可保證
- 混合匹配算法
- 混合阻尼機(jī)構(gòu)
- HDR掃描
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