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詳細介紹
SuperView W2光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SuperView W2光學3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
系統(tǒng)配置：
光源：白光/綠光LED（單雙可選）
影像系統(tǒng)：1024×1024
干涉物鏡：2.5×，5×、10×、20×、50×、100×
XY平臺移動范圍：200mm×200mm
控制方式：電動
Z軸行程：100mm
Z向掃描范圍：10mm
Z向掃描速度：>45μm/s
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-
水平調(diào)整：±6°電動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效
應(yīng)用領(lǐng)域：
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
半導體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓）
光學元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度
3C電子（玻璃屏）.粗糙度
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