深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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2021-07-16 21:00:08282
參考價(jià):

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):其他
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圖片描述:

日本JEOLJBX-6300FS電子束光刻系統(tǒng),在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為(計(jì)算值)2.1nm的電子束,簡便地描畫出線寬在8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)的圖形。此外,該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度,性能比*。利用最細(xì)電子束束斑(實(shí)測值直徑≦2.9nm)可以描畫8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)極為精細(xì)的圖形。

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