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熱式質(zhì)量流量計(jì)(ThermalMassFlowmeters,簡(jiǎn)稱TMF)在國內(nèi)習(xí)稱量熱式流量計(jì),是利用流體流過外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來測(cè)量流體質(zhì)量流量,或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測(cè)量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表。一般用來測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復(fù)性和高可靠性;無可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測(cè)和控制等特點(diǎn).
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