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HVA真空閘閥,真空插板閥21200系列為百萬周期真空閘閥,專為高真空應(yīng)用而設(shè)計,特別適合1x10-9mbar高真空且烘烤溫度不超過150C的應(yīng)用.HVA真空閘閥,真空插板閥21200系列內(nèi)部沒有機械鎖,非常適合對于要求無振動運行的半導(dǎo)體和敏感工藝.所有活動關(guān)節(jié)的軸都經(jīng)過硬化處理,減少了顆粒物的產(chǎn)生并提供了更平穩(wěn)的驅(qū)動.清潔和高密封性保證HVA......
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