2XZ型旋片式真空泵圖片

2XZ型旋片式真空泵系雙級(jí)高速直聯(lián)結(jié)構(gòu)旋片式真空泵（以下簡(jiǎn)稱泵）。它有偏心地裝在泵腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子，及轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的旋片。轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片緊貼腔壁，把進(jìn)、排氣口分隔開(kāi)來(lái)，并使進(jìn)氣積腔容積周期性地?cái)U(kuò)大而吸氣，排氣腔容積則周期性地縮小而壓縮氣體，推開(kāi)排氣閥排氣，從而獲得真空。圖一為單級(jí)泵的工作原理示意圖。雙級(jí)是兩個(gè)單級(jí)串聯(lián)而成。