臥式單體中高溫集熱管鍍膜設備圖片

該設備為Φ1200x6000水冷真空腔室，配移動式公自轉工裝架，工裝架裝載量10-20只，公自轉工裝架點對點自動運行；設備帶偏壓清洗及輔助沉積功能，工藝加熱溫度300℃；設備配5只圓柱靶或內裝平面靶；可鍍Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多種底層金屬，及由AL、Ti、Si等構成的多層陶瓷膜；系統(tǒng)滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等多種選擇性吸熱膜的研制和小批生產(chǎn)。