Brooks Instrument GF100 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表圖片

GF100系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能：快速響應和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD等其他氣體流量控制應用設(shè)計，GF100系列在可靠性方面優(yōu)于半導體行業(yè)標準水平，可確保測量結(jié)果可重現(xiàn)并且長時間使用后性能依然高度穩(wěn)定。一臺采用標準MultiFlo?技術(shù)的MFC即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除MFC并且不影響精度。