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基于MEMS的近紅外光譜儀NanoQuest是一種基于MEMS的FT-IR設(shè)備,除了近紅外光譜范圍寬、緊湊、經(jīng)濟(jì)等優(yōu)勢外,還能提供卓yu的近紅外光譜性能。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)使得Nanoquest在MEMS芯片上就可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)波邁克爾遜干涉,并使得1350-2500nm范圍內(nèi)同時檢測所有波長成為可能。另外它使用單光電探測器設(shè)計來減小儀器的尺寸,并同時能確保低噪音、高穩(wěn)定性的性能
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