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CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì),并可自動切換,一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?。主要參?shù):CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì),并可自動切換,一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主......
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