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微小氣體流量計(jì)FGM210氣體質(zhì)量流量計(jì)系列產(chǎn)品是采用*流量傳感器芯片,結(jié)合32位高速數(shù)字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設(shè)計(jì),所開(kāi)發(fā)的大量程、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組,具有低功耗(典型80mW)、大量程10-300SLM、快速響應(yīng)(典型5ms)等優(yōu)點(diǎn)。高性能流量傳感器芯片以及核心標(biāo)定算法技術(shù),配合多種不同流道設(shè)計(jì),具有可靠的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,可應(yīng)用于多種工業(yè)、醫(yī)療等場(chǎng)所。
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