近紫外DI防焊全自動(dòng)光刻機(jī)
類別 | 項(xiàng)目描述 | KST-DI2816-4FHB | KST-DI2824-6FEB | KST-DI2824-12FEB | 備注 |
基材 | 基材尺寸(MAX) | 740mm x 410mm | 740mm x 638mm | ||
基材尺寸(MIN) | 304mm x 304mm | 304mm x 304mm【可壓邊】304mm x 304mm【不可壓邊】 | |||
基材厚度 | 0.1-3.5mm | ||||
壓板機(jī)構(gòu) | 可針對(duì)客戶板定制 | 工藝不同 | |||
解析度L/S | 橋/開(kāi)窗尺寸 | 50um(橋)/75um(開(kāi)窗) | |||
光源景深 | ±100um | ||||
對(duì)位精度 | ±10um | ||||
制程 | 感光材料 | 普通防焊油墨;LDI專用油墨; | |||
均勻性 | 大于等于90% | ||||
光源頻譜 | 385~405nm | ||||
光源總功率 | 2400W/每臺(tái) | 3600W/每臺(tái) | 7200W/每臺(tái) | ||
應(yīng)用范圍 | 硬板,柔性板,軟硬結(jié)合板 | ||||
適用工序 | 防焊/阻焊工藝; | ||||
文件輸入形式 | 資料輸入 | Gerber274X;Gerber274D(強(qiáng)烈不推薦此種格式) | |||
裝機(jī)需求 | 電源供應(yīng) | AC380V-50HZ-13.8KW | AC380V-50HZ-15KW | AC380V-50HZ-18.5KW | |
純凈水需求 | 15~20L(風(fēng)冷冰水機(jī),水冷冰水機(jī)) | ||||
單機(jī)設(shè)備重量 | 4900kg(參考值,不同配置重量不同) | ||||
外形尺寸(參考) | (W * D * H) 2230mm X2580mm X1950mm | ||||
無(wú)塵環(huán)境溫度 | 22±2°C | ||||
相對(duì)環(huán)境濕度 | 45~60%(不結(jié)露) | ||||
無(wú)塵等級(jí) | 10W CLASS 或以上 | ||||
特殊應(yīng)用 | 圖形漲縮管理 | 固定漲縮;自動(dòng)漲縮;測(cè)量漲縮; | |||
掃碼MARK功能 | 打印日期;時(shí)間;序號(hào);漲縮系數(shù)等; | ||||
系統(tǒng)選項(xiàng) | 漲縮管理 | 局部漲縮;區(qū)域漲縮; | |||
資料輸入 | ODB++ | ||||
有孔對(duì)位 | 正面對(duì)位 | ||||
臺(tái)面系統(tǒng)定制 | 壓板機(jī)構(gòu) | ||||
光源 | 1200MW/CM2 | ||||
多區(qū)域曝光 | 有 |