貨號 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200SB | CV-3200H8 | CV-3200W8 | |||
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500SB | CV-4500H8 | CV-4500W8 | ||||
測量范圍 | X軸 | 100MM | 200MM | ||||||
Z1軸(檢出器) | 60mm(水平位置±30mm) | ||||||||
Z2軸(立柱)移動范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | |||||
Z1軸 (檢出器) | 光柵尺類型 | 弧形 | |||||||
分辨力 | CV-3200系列;0.04μm,CV-4500系列;0.02μm | ||||||||
測針上/下運作 | 弧形移動 | ||||||||
測量方向 | 向前/向后 | ||||||||
測針方向 | CV-3200系列:垂直方向(向上/向下單獨測量) CV-4500系列:垂直方向(向上/向下根據(jù)配重調(diào)整) | ||||||||
測力 | CV-3200系列:30mN(上下可連續(xù)測量) CV-4500系列:10,20,30,40,50mN(根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換) | ||||||||
跟蹤角度 | 向上:77°,向下:83°(根據(jù)表面粗糙度,使用標準單切面測針*1) | ||||||||
驅(qū)動部 | 長度基準 | X軸 | 激光全息光柵尺 | ||||||
Z2軸(立柱) | ABS光柵尺 | ||||||||
分辨力 | X軸 | 0.05μm | |||||||
Z2軸(立柱) | 1μm | ||||||||
驅(qū)動速度 | X軸 | 0-80mm/s 外加手動 | |||||||
Z2軸(立柱) | 0-30mm/s 外加手動 | ||||||||
測量速度 | X軸 | 0.02-5mm/s | |||||||
直線度*2 | X軸 | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm | ||||||
傾角范圍 | X軸) | ±45° | |||||||
精度 (20℃) | CV-3200系列 | X軸 | ±(0.8+0.01L)μm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:1.8μm/100mm 窄范圍:1.05μm/25mm | ±(0.8+0.02L)μm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:1.8μm/200mm 窄范圍:1.3μm/25mm | |||||
Z1軸 (檢出器) | ±(1.6+(2H)/100)μm H=水平位置上的測量高度(mm) | ||||||||
CV-4500系列 | X軸 | ±(0.8+0.01L)μm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:1.8μm/100mm 窄范圍:1.05μm/25mm | ±(0.8+0.02L)μm L=驅(qū)動長度(mm) 寬范圍:1.8μm/200mm 窄范圍:1.3μm/25mm | ||||||
Z1軸(檢出器) | ±(0.8+(2H)/100)μm H=水平位置上的測量高度(mm) | ||||||||
外形 尺寸 | 主機*3 |
| 756*482*966mm | 756*482*1166mm | 1156*482*1176mm | 766*482*966mm | 766*482*1166mm | 1166*482*1176mm | |
重量 | 主機 |
| 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg |
*1:SPH-71(NO.354884)
*2:X軸水平位置時
*3:主機材料為花崗巖
注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同,但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的。