XSE FFU：
FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)單元”。確切地說是一自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEP過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。
FFU工作時間長，低噪聲、免維護(hù)、震動小、可無級調(diào)速或分檔調(diào)速，風(fēng)速均勻，安裝方便等。FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。
可訂制各種特殊規(guī)格尺寸,箱體可按客戶要求選擇冷板靜電噴涂材質(zhì)、不銹鋼材質(zhì)及鍍鋁鋅板材質(zhì)。
FFU具有特點
靈活性：因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二可再利用性：從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三負(fù)壓通風(fēng)：這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四縮短建設(shè)周期：使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五減少運(yùn)行成本：雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點。
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