高載重同步輻射高精度位移平臺(tái)
納米位移臺(tái)在提供精度位移控制的同時(shí),保證了優(yōu)異而的穩(wěn)定性能,適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中,負(fù)載可達(dá)幾公斤,行程達(dá)到50mm,小步長(zhǎng)50nm,配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能。
高載重同步輻射高精度位移平臺(tái)
適用于超高真空環(huán)境中多維度納米精度位移功能,負(fù)載可達(dá)幾公斤,行程達(dá)到50mm,小步長(zhǎng)50nm,配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm#適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中,負(fù)載可達(dá)幾公斤,行程達(dá)到50mm,小步長(zhǎng)50nm,配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能;
+ 在厘米級(jí)的行程范圍內(nèi),達(dá)到納米級(jí)高精度位移控制
+ 的機(jī)械穩(wěn)定性
+ 位移驅(qū)動(dòng)電壓<45V,無(wú)需高壓屏蔽
+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重復(fù)性,<0.01% 精度
+ 特殊材質(zhì),兼容各種光學(xué)實(shí)驗(yàn)環(huán)境和超高真空環(huán)境
+ 快速樣品更換裝置