應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于光探測(cè)器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。
技術(shù)性能
1.工位接口數(shù)量:6-20工位;
2.極限真空度:抽排的工件極限真空度10-8Pa;
3.無(wú)油污染:采用無(wú)油機(jī)械泵與分子泵,避免油蒸汽對(duì)工作環(huán)境的污染;
4.烘烤:烘箱加熱,烘烤溫度可達(dá)到200℃且具有溫度顯示和可調(diào)功能;
5.工位處配置充N(xiāo)2接口,使在卸下工件時(shí)能夠充入N2保護(hù)。