應(yīng)用領(lǐng)域
設(shè)備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉(zhuǎn)移、MCP清刷、銦封等多道關(guān)鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復(fù)雜系統(tǒng)。主要應(yīng)用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領(lǐng)域。
技術(shù)性能:
1、 極限真空:5x10-6Pa,工作真空:5x10-5Pa;
2、 除氣加熱溫度:400℃,溫度均勻性:±2.5℃;
3、 陰極組件垂直運動速度:0-500mm/min,重復(fù)定位精度:±1.5mm;
4、 MCP組件垂直運動速度:0-500mm/min,重復(fù)定位精度:±1.5mm;
5、 電子槍組件平移運動速度:0-500mm/min,重復(fù)定位精度:±1.5mm;
6、 玻殼旋轉(zhuǎn)速度0-3rpm,定位精度0.02°;
7、 銦封頂升力0-100N。