應用領(lǐng)域
充氦真空系統(tǒng)主要用于氦光泵磁力儀組件制備時的抽真空、除氣和充氣,是八工位、無油超高真空系統(tǒng)。應用于磁傳感器領(lǐng)域的科學研究。
技術(shù)性能
- 設備為雙真空系統(tǒng);
- 常溫、空載狀態(tài):工位極限真空度進入10-9Pa量級;鐘罩極限真空度5×10-2Pa;
- 系統(tǒng)靜態(tài)真空度:5分鐘內(nèi)優(yōu)于5×10-5Pa,20分鐘內(nèi)維持在10-5Pa量級;
- 工位接口數(shù)量:8工位,圓周分布;
- 采用真空鐘罩對工件進行烘烤,鐘罩加熱溫度500℃,工作溫度200℃,控溫精度±1℃;鐘罩升溫速率0.2~6℃/min。