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BROOKS GF100質(zhì)量流量計

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱泓惟自動化系統(tǒng)工程(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/5/15 15:08:40
  • 訪問次數(shù)142
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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 泓惟自動化系統(tǒng)工程(上海)有限公司是艾默生過程控制有限公司的代理商,公司自創(chuàng)建以來一直為企業(yè)提供國際一線過程儀表及閥門的產(chǎn)品和服務(wù)。為各行業(yè)的企業(yè)提供了流量儀表、溫度儀表、壓力儀表、物位儀表、水分儀表、開關(guān)閥、調(diào)節(jié)閥及系統(tǒng)集成等。我們是具有理念的科技型企業(yè),將以可靠的技術(shù)和完善的服務(wù)為您的企業(yè)創(chuàng)造價值。 我們在環(huán)保、冶金、電力、市政、石油化工、食品制藥、智能制造等行業(yè)現(xiàn)場儀表的選型、調(diào)試、維護、標(biāo)定、系統(tǒng)集成等方面有著豐富的經(jīng)驗。能為客戶提供相應(yīng)的產(chǎn)品和解決方案。 我們擁有一批現(xiàn)場經(jīng)驗豐富的專家和人才,本著“創(chuàng)新、合作、共贏”的企業(yè)文化,竭誠為客戶提供全面的自動化及信息化應(yīng)用解決方案和高質(zhì)量的專業(yè)服務(wù)。展望未來,人類對優(yōu)美的環(huán)境及優(yōu)質(zhì)生活的追求,將是我們面臨的主要問題。人們相互的溝通與合作對企業(yè)的發(fā)展日趨重要,公司樹立積極務(wù)實、高效靈活、健康真誠的全新企業(yè)形象,與社會各界朋友攜手共進,共同塑造企業(yè)和社會的美好明天 !
孔板流量計
BROOKS GF100質(zhì)量流量計
BROOKS GF100質(zhì)量流量計 產(chǎn)品信息

速、準(zhǔn)的MFC

加強了擁有EtherCAT®的速度
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

針對半導(dǎo)體工藝的性能

  • 嵌入式診斷利用實時以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
  • 超穩(wěn)定流量傳感器(每年≤設(shè)定值0.15%的漂移)使低流量更精準(zhǔn),同時減少維修的需求
  • 改進的閥門關(guān)閉(≤bin范圍的0.15%)減少閥門內(nèi)漏,從而改善片晶圓效應(yīng)
  • 新增強的抗壓力瞬時波動在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點

  • 每年<>
  • 響應(yīng)穩(wěn)定時間: 300毫秒 - <>
  • 流量可達到300 slpm
  • 全金屬密封的流體通路:可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
  • 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時改善了測量的重復(fù)性
  • MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表,幾千種氣體和量程的組合,無需把MFC從管路上拆除,也不會影響精度
  • 方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝,監(jiān)測和故障排查
  • GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計,用于離子注入和刻蝕工藝的負壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸 

優(yōu)勢

  • 超常的性能
    • 快速反應(yīng)時間改進應(yīng)用效率
  • 靈活的拓撲
    • 幾乎無限的網(wǎng)絡(luò)拓撲可能
  • 簡單、堅固
    • 配置,診斷以及維護
  • 負擔(dān)能力
    • 標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備
  • 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
  • 外延工藝系統(tǒng)


關(guān)鍵詞:傳感器
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