速、準(zhǔn)的MFC
加強了擁有EtherCAT®的速度
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126
針對半導(dǎo)體工藝的性能
- 嵌入式診斷利用實時以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
- 超穩(wěn)定流量傳感器(每年≤設(shè)定值0.15%的漂移)使低流量更精準(zhǔn),同時減少維修的需求
- 改進的閥門關(guān)閉(≤bin范圍的0.15%)減少閥門內(nèi)漏,從而改善片晶圓效應(yīng)
- 新增強的抗壓力瞬時波動在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度
特點
- 每年<>
- 響應(yīng)穩(wěn)定時間: 300毫秒 - <>
- 流量可達到300 slpm
- 全金屬密封的流體通路:可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
- 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時改善了測量的重復(fù)性
- MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表,幾千種氣體和量程的組合,無需把MFC從管路上拆除,也不會影響精度
- 方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝,監(jiān)測和故障排查
- GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計,用于離子注入和刻蝕工藝的負壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸
優(yōu)勢
- 超常的性能
- 快速反應(yīng)時間改進應(yīng)用效率
- 靈活的拓撲
- 幾乎無限的網(wǎng)絡(luò)拓撲可能
- 簡單、堅固
- 配置,診斷以及維護
- 負擔(dān)能力
- 標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備
- 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
- 外延工藝系統(tǒng)