等離子處理效果
等離子測試:孔內(nèi)除膠
高TG、高孔徑比孔內(nèi)除膠后清洗效果
等離子測試:激光孔內(nèi)除炭黑
機臺名稱 | 等離子清洗機( Plasma)(極板活動式) |
機臺型號 | KME-SP100L-A |
機合規(guī)格 | 極板活動式8層 |
外形尺寸 | 長*寬*高=800*1650*1750 腔體不銹鋼304 |
結(jié)構(gòu)組成 | 真空發(fā)生系統(tǒng)、人機界面、電氣控制系統(tǒng)、真空腔體、等離子發(fā)生器等幾部分 |
電源系統(tǒng) | 13.56MHz等離子體發(fā)生源 |
控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC自動控制 |
進(jìn)氣系統(tǒng) | 2-4路工作氣體可選:Ar、N2、H2、壓縮空氣 |