內(nèi)箱尺寸:600×600×600(W×D×H)mm(可根據(jù)客戶要求訂制)
外箱尺寸: 1297×1146×1945(W×D×H)mm
1.顯示精度:±1.0℃
2.分布均勻度:±1.5%(到達設(shè)定溫度后20分鍾測試空氣溫度)
3.溫度范圍:室溫+25~250℃
4.升溫時間: RT-180℃約30分鐘,爐內(nèi)擺放77×260×93(W×D×H)mm彈夾*12個并在限位塊內(nèi)擺放時測試空氣溫度
5.氧含量:200PPM(氣源高純氮99.999%),35分鍾后測試
6.高效過濾器:99.97%
7.壓差計:0~50L/min
8.潔凈等級:100級(在工作場地潔凈等級達到100前提下),靜態(tài)測試:不升溫風機馬達運轉(zhuǎn)下測試為100級;動態(tài)測試:升溫到達設(shè)定溫度,穩(wěn)定15min測試為100級,參照美國聯(lián)邦FED-STD-209E標準(抽取爐內(nèi)空氣檢測為標準)
9.電磁鎖:烘烤過程中吸合密封,人員不能打開爐體門,電磁鎖為內(nèi)嵌在機臺內(nèi)部